工程 · 半導體工程

半導體晶片的製造過程(曝光、蝕刻)

用光轉印圖案,蝕刻後層層堆疊

1:00 · 720p · AI 台語旁白與華語字幕。此範例以與本服務相同的方式製作。

旁白內容(華語字幕)

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  1. 半導體晶片的製造過程

    半導體晶片是用光把電路印在矽圓盤上製成的。

  2. 鍍膜並塗上光阻

    首先在矽晶圓上鍍一層薄膜,再塗上會對光產生反應的光阻。

  3. 曝光:用光轉印圖案

    曝光時,讓光穿過畫有電路圖案的光罩,把圖案轉印到光阻上。

  4. 顯影:照光處溶解

    顯影後,被光照到的部分,那裡的光阻就會溶解消失。

  5. 以蝕刻削除

    接著以蝕刻削去沒有光阻覆蓋的膜,再除去剩下的光阻。

  6. 反覆堆疊多層

    這道工序重複許多次,把圖案一層層疊起來,做成電路。

  7. 切割後完成

    最後,把晶圓切割成一顆顆晶片,再裝進封裝裡就完成了。

  8. 轉印、蝕刻、堆疊

    半導體晶片就是用光轉印、再蝕刻,如此一層層堆疊而成的。

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